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HBM 與先進封裝第 2 / 5 課

半導體封裝小教室:從 CoWoS 到 ABF

這篇把先進封裝講成「把晶片彼此搬近」:先看 AI 為什麼需要 CoWoS,再看 Si Interposer、CoPoS、ABF substrate 與 PCB 各自解決哪一段距離、頻寬與良率問題。

9 分鐘

先看懂先進封裝:把晶片彼此搬近

AI 晶片的問題不只在單顆 die 夠不夠強,還在資料能不能在 GPU、HBM、interposer、substrate 與 PCB 之間順利流動。先進封裝就是在處理這些距離、頻寬與連接密度的問題。

這篇會把 CoWoS、Si Interposer、CoPoS、ABF substrate 與 PCB 分成不同層次來看:哪一層負責超細線路,哪一層負責承載封裝,哪一層把系統接到主板。

讀的時候先記住:先進封裝不是把零件堆在一起,而是在有限面積、功耗、散熱與良率之間,替資料找一條更短、更寬、更可靠的路。

AI 晶片的效能不只取決於 GPU 或 ASIC 本身,也取決於資料能不能在晶片、HBM、封裝基板與主機板之間快速、穩定、低功耗地移動。當模型越來越大、記憶體頻寬需求越來越高,封裝就不再只是把晶片「包起來」的後段製程,而是系統架構的一部分。

這篇小教室用 7 張圖建立一個封裝堆疊的地圖:CoWoS 負責把 GPU 與 HBM 放到高密度互連平台上;Si Interposer 提供微米級的短距離線路;ABF substrate 把封裝內部訊號與電源 fan out 到主機板;PCB 則負責整台伺服器的系統級連接。讀懂這些位置,就比較能理解為什麼 AI 伺服器會卡在先進封裝、ABF 產能、HBM 整合與良率。

1. 為什麼需要 CoWoS?

AI accelerator 最大的挑戰之一,是 GPU/ASIC 和 HBM 之間需要非常大的資料通道。HBM 的優勢在於頻寬高,但高頻寬不是抽象名詞,而是大量平行線路、很短的連接距離、良好的訊號完整性,以及足夠的供電與散熱能力。

如果把 GPU 和 HBM 直接拉到一般 PCB 上,線路會太長、pitch 太粗、寄生效應太大,而且很難塞下足夠的高速訊號線。這就像要用一般道路承載高鐵等級的流量:不是不能走,而是效率、功耗、延遲與可靠度都會失控。

CoWoS 的核心想法,就是在 GPU/HBM 下方放一層 Si Interposer,讓晶片之間先在封裝內完成超高密度互連,再往下接到 ABF substrate 與主機板。它解決的是「晶片到晶片」的頻寬問題,而不是單純把元件黏在一起。

半導體封裝小教室第一頁:什麼是 CoWoS,以及為什麼 GPU 與 HBM 需要矽中介層
圖 1:CoWoS 的重點,是用 Si Interposer 建立 GPU 與 HBM 之間的高密度近距離連線。

從系統角度看,CoWoS 不是單一材料,也不是單一製程步驟,而是一個整合封裝平台。它把多顆 die、HBM stack、silicon interposer、ABF substrate、underfill、bump、測試與散熱整合成可出貨的高階加速器模組。

這也是為什麼 AI 晶片供應會受到封裝產能影響。即使 GPU die 與 HBM die 都已經準備好,如果 interposer、ABF substrate、組裝、測試或散熱方案跟不上,最後的 accelerator module 仍然無法大量交付。

2. CoWoS 的結構與流程

CoWoS 的全名可理解為 Chip-on-Wafer-on-Substrate。它的堆疊順序大致是:GPU/HBM 透過 microbump 放到 Si Interposer 上;interposer 透過 C4 bump 接到 ABF substrate;ABF substrate 再透過 BGA ball 接到主機板。

這個堆疊有一個重要規律:越靠近 die,互連密度越高、線路越細、pitch 越小;越往下到 substrate 與 PCB,線路逐漸變粗,任務也從高速 chip-to-chip routing 轉成 power delivery、fanout、機械支撐與系統連接。

製程上,CoWoS 不是把一堆元件一次貼上去就結束。典型流程會包含在 interposer wafer 上放置 GPU/HBM、做 underfill、背面研磨與 TSV 露出、切割成單顆 package unit、再接到 ABF substrate,最後做 ball mount 與電性測試。每一步都會影響良率、翹曲、可靠度與成本。

半導體封裝小教室第二頁:CoWoS 的結構、微凸塊、矽中介層、ABF substrate 與製程流程
圖 2:CoWoS 的封裝堆疊可分成高密度晶片互連、封裝基板 fanout,以及主機板系統連接三個層級。

工程上最難的地方,是這個堆疊把半導體製程、封裝組裝、材料、熱機械應力與電性測試綁在一起。任一層的缺陷,都可能讓整個高價模組報廢。因此先進封裝追求的不只是「更細線路」,還包含可量產的良率與可維修的供應鏈。

3. 從 CoWoS 到 CoPoS:從 wafer 走向 panel

CoWoS 是目前高階 AI 封裝的主流之一,主要以 wafer-based 的方式製作 interposer 與封裝單元。CoPoS 則可以理解成把類似的高密度封裝思路推向 panel-based 製程,希望用更大的矩形面板支援更大的封裝面積、更多 HBM stack,以及更高的面積利用率。

為什麼要走向 panel?因為 AI accelerator 越做越大,HBM 數量增加,interposer 面積也變大。若仍受限於 12 吋晶圓與 reticle/製程尺寸,封裝尺寸、產能與成本都會遇到壓力。Panel-level packaging 的吸引力在於理論上可以容納更大的封裝與更高的單位面積產出。

但 CoPoS 不是把 wafer 放大成 panel 這麼簡單。panel 的翹曲控制、對位精度、清洗、鍍銅、研磨、搬運、設備尺寸、材料均勻性與良率模型都會變得更難。它代表的是下一代先進封裝平台,而不是一個立刻取代 CoWoS 的簡單替代品。

半導體封裝小教室第三頁:CoWoS 與 CoPoS 比較,從晶圓級封裝走向面板級封裝
圖 3:CoPoS 的方向是把高密度封裝從 wafer-based 擴展到 panel-based,以支援更大的 AI package。

對產業來說,CoPoS 的意義不只在封裝廠。它會牽動設備商、材料商、ABF substrate、清洗與檢測、暫時鍵合、面板搬運、良率監控與設計規則。換句話說,封裝平台一旦變大,整條供應鏈都要跟著升級。

4. Si Interposer 是什麼?

Si Interposer 可以把它想成一片「不負責計算、但負責高密度繞線」的矽平台。它通常沒有 GPU 那樣的運算邏輯,而是提供微米級 RDL、TSV 與高密度 routing,讓 GPU 與 HBM 可以在封裝內用短距離、大寬度的方式交換資料。

和一般有機基板相比,矽中介層可以做出更細的線寬與間距,因此很適合處理 HBM 這種需要大量平行線路的介面。HBM 的價值不只是單顆 memory stack 的速度,而是它能透過 interposer 和 compute die 形成極寬的資料通道。

Si Interposer 的代價則是成本與製程複雜度。它需要 wafer-level 製程,包含 TSV 深孔、絕緣層、barrier/seed、銅填孔、CMP、RDL、背面研磨、TSV 露出與 backside pad。這些步驟讓 interposer 具備高密度能力,也讓它成為產能與良率管理的關鍵。

半導體封裝小教室第四頁:矽中介層的製程,包含 TSV、銅填孔、CMP、RDL、背面研磨與載板去除
圖 4:Si Interposer 是用 wafer-level 製程做出的高密度互連平台,不是一般 PCB。

因此看 Si Interposer 時,不能只看它「有沒有電路」。它真正的價值是把 die-to-die 連接變短、變密、變可控,讓資料不用繞遠路。對 AI 計算來說,少搬一段路、少一點寄生效應、少一點功耗,就可能換成更高的有效吞吐量。

5. Si Interposer 製程為什麼麻煩?

Si Interposer 的製作從一片矽晶圓開始。前段會先做深 TSV etch,形成穿透矽的垂直通道;接著在孔壁加上絕緣層、barrier layer 與 seed layer,避免漏電與擴散,再用電鍍把銅填進 TSV。填孔後需要 CMP,把表面磨平,才能繼續做上方 RDL。

RDL 負責水平繞線,TSV 負責垂直導通。這兩者合起來,才讓上方 GPU/HBM 的訊號能穿過 interposer,往下接到 ABF substrate。換句話說,interposer 同時要處理「平面內的高密度 routing」與「上下層之間的垂直連接」。

後段製程還包括 carrier bonding、back grinding、露出 TSV、背面 RDL/pad 與 debond。這些步驟的共同難點,是 interposer 變薄後更脆弱,且任何翹曲、裂片、對位誤差、銅柱缺陷或殘留污染,都可能影響後續組裝與最終良率。

半導體封裝小教室第五頁:Si Interposer 製程步驟,從空白晶圓到 TSV、RDL、背面研磨與去載板
圖 5:TSV、RDL、CMP、背面研磨與 carrier debond,都是矽中介層量產時需要控制的關鍵步驟。

這也是為什麼先進封裝的產能擴充不只是多買機台。它還需要製程 recipe、材料匹配、缺陷檢測、可靠度驗證、封裝設計規則與量產經驗。高階 AI package 的價值越高,良率損失就越痛。

6. CoWoS 和 ABF:不是取代,而是分工

很多人容易把 CoWoS、Si Interposer、ABF substrate 混在一起。最簡單的分法是:CoWoS 是整合封裝平台;Si Interposer 是 CoWoS 裡面負責高密度 chip-to-chip routing 的矽中介層;ABF substrate 是 package substrate,負責把封裝內部訊號與電源往外扇出到主機板。

Si Interposer 的線路很細、密度很高,適合 GPU/HBM 這種短距離、高頻寬連接。ABF substrate 的線路比 interposer 粗,但面積更大、層數多,能做電源配送、訊號 fanout、機械支撐與 BGA 連接。兩者不是誰比較高級、誰取代誰,而是在不同尺度上解決不同問題。

從供應鏈角度看,AI 伺服器需要兩者都穩。若 CoWoS 產能不足,GPU/HBM 無法完成高密度封裝;若 ABF substrate 供應不足,package 無法可靠接到主機板。這也是為什麼先進封裝題材常常同時牽涉 foundry、OSAT、substrate、材料與設備。

半導體封裝小教室第六頁:CoWoS 與 ABF substrate 在 AI 伺服器封裝中的不同角色
圖 6:CoWoS 解決封裝內部的超高密度晶片互連;ABF substrate 解決封裝到主機板的 fanout、供電與機械支撐。

可以把 CoWoS/Si Interposer 想成晶片之間的高架快速道路,把 ABF substrate 想成把高速道路接到城市路網的交流道與分配層。沒有前者,GPU/HBM 跑不出足夠頻寬;沒有後者,整個 package 無法穩定接入伺服器系統。

7. ABF 和 PCB:看起來像板,工程等級完全不同

ABF substrate 和 PCB 都是「板」,也都會用到介電材料、銅箔、via、層壓與圖形化線路。但 ABF 面對的是先進封裝等級的要求:高 I/O density、fine pitch、flip-chip bump、微盲孔、低介電損耗、平坦度、銅厚均勻性、CTE 匹配與 warpage 控制。

一般 PCB 則負責系統層級連接,例如主機板上的 connector、power module、retimer、控制器與其他元件。它的線寬、pitch、層間對位與表面平坦度,不是為了讓 GPU/HBM die 直接 flip-chip attach 而設計。

所以不能說「既然 PCB 也能走線,為什麼不用 PCB 直接接 GPU/HBM?」真正原因是 pitch、寄生效應、訊號完整性、電源完整性、熱機械可靠度與封裝良率都過不了關。ABF substrate 是 package 內外之間的高階轉接層,而不是普通 PCB 的小一號版本。

半導體封裝小教室第七頁:ABF substrate 與一般 PCB 的差異
圖 7:ABF substrate 是先進封裝基板;PCB 是系統主機板。兩者同屬板類技術,但設計目標、精度與成本等級差很多。

對 AI/HPC 晶片來說,封裝設計本身就是架構設計的一部分。GPU/ASIC 要放幾顆 HBM、interposer 要多大、ABF 層數與線寬能不能支援、供電與散熱如何安排,最後都會回到效能、功耗、成本、良率與交期。

重點整理

CoWoS、Si Interposer、ABF substrate、PCB 不是四個可以互相替換的名詞,而是一個高階封裝堆疊中的四種角色。

  • CoWoS:把 GPU/HBM 等 die 整合到高密度先進封裝中。
  • Si Interposer:負責封裝內部微米級、高密度、短距離 chip-to-chip routing。
  • ABF substrate:負責 package 到 motherboard 的 fanout、供電、機械支撐與可靠度。
  • PCB:負責伺服器系統層級的元件連接、電源模組與外部介面。
  • CoPoS:把高密度封裝從 wafer-based 推向 panel-based,目標是更大封裝、更高面積利用率與下一代 AI package。

先進封裝不是「後段配角」,而是 AI 晶片能不能把算力、記憶體、供電與散熱組成可量產系統的關鍵。

References

  • TSMC 3DFabric advanced packaging:台積電官方 3DFabric 技術總覽,包含 CoWoS、SoIC、InFO 等先進封裝與 3D 整合平台。這個 reference 適合用來確認 CoWoS 在台積電整體先進封裝家族中的位置,以及不同封裝平台各自負責的整合層級。
  • TSMC CoWoS:台積電官方 CoWoS 說明頁,介紹 Chip-on-Wafer-on-Substrate 的整合概念,以及為什麼它適合高密度 HBM 與邏輯晶片封裝。本文中關於 GPU/HBM、Si Interposer 與高頻寬封裝的討論,主要可對照這個官方技術脈絡。
  • ASE 2.5D and 3D IC packaging:日月光對 2.5D/3D IC packaging、HBM integration 與 heterogeneous integration 的產業介紹。這個 reference 可用來補充 OSAT 與封裝組裝視角,理解先進封裝不只是 interposer,也包含 assembly、test、substrate 與系統級整合。
  • Ajinomoto Build-up Film:Ajinomoto 官方對 ABF(Ajinomoto Build-up Film)的介紹。ABF 是高效能半導體 package substrate 的重要材料之一,適合用來對照本文中 ABF substrate 和一般 PCB 的差異,以及為什麼 AI/HPC package 需要更高階的 build-up substrate。

學習指南

HBM 與先進封裝

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先備知識

  • 基本晶片、封裝與 PCB 概念

我學會了什麼

  • 區分中介層、載板與 PCB 角色
  • 說明 Chiplet 為何需要高密度整合
  • 辨識 ABF 載板限制

本課術語

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延伸閱讀

課後小測驗

1. 鄰近晶粒間的細密配線主要由什麼提供?
2. ABF 主要用在哪裡?
3. 封裝載板等同 PCB 嗎?

讀到這裡,辛苦了。

把概念帶走,比把術語背走更重要。

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